2.4. Диоды Шоттки
Для создания диодов Шоттки используется контакт металл — полупроводник. Теория, описывающая электрические характеристики таких контактов, была разработана немецким ученым Шоттки, вследствие чего диоды и называют его именем.
Рассмотрим энергетическую диаграмму контакта полупроводника с металлом, термодинамическая работа выхода электронов из которого больше, чем из полупроводника (Aм>Aп, рис.2.5). В этом случае поток электронов из полупроводника в металл jп в начальный момент времени больше, чем из металла в полупроводник jм. Поэтому металл заряжается отрицательно, а полупроводник n- типа положительно и возникает контактная разность потенциалов , выравнивающая потоки jп- и jм и уровни Ферми в металле и полупроводнике. Контактная разность потенциалов, определяемая, как обычно, =Aм-Aп, создает изгиб зон в приповерхностной области полупроводника. Вследствие этого концентрация электронов в приповерхностной области уменьшается и ее сопротивление увеличивается. Слой с повышенным сопротивлением называется запирающим. Его ширина d определяется так же, как и в случае несимметричного p-n- перехода.
Для определения вольт-амперной характеристики контакта рассмотрим потоки электронов из металла в полупроводник и из полупроводника в металл. Плотность тока термоэлектронной эмиссии электронов из металла в вакуум определяется формулой Ричардсона
j=AT2 ехр (—Aм/kT),
где A=4pqm*k2/h3 — постоянная Ричардсона. Если рассматривать непосредственный контакт полупроводника и металла (рис.12,6), то для перехода электронов из металла в полупроводник им нужно преодолеть потенциальный барьер , поэтому jм=AT2 ехр (— /kT),
=Aм-cп
В состоянии равновесия jм=jп, поэтому jп=АТ2ехр (— /kT).
Поскольку все внешнее напряжение падает на высокоомном запирающем слое полупроводника, то со стороны металла, а соответственно и Iм, не зависят от V, а
jп=AT2 exp [-q ( - V)/kТ].
Рис.2.5. Энергетические диаграммы металла и полупроводника (а), барьера Шоттки без смещения (б) и при прямом смещении (в)
В этом случае результирующий ток j=jп—jм можно записать так:
j=jнас [exp (qV/kT) —1],
где jнас= AT2 ехр (— /kT).
При обратном смещении уровень Ес полупроводника может опуститься ниже ЕF металла и электроны из металла смогут туннелировать сквозь потенциальный барьер в зону проводимости полупроводника. Поэтому обратный ток через контакт металла с сильнолегированным полупроводником (малое d) может оказаться больше jнас и увеличиваться с ростом напряжения.
Диоды Шоттки отличаются тем, что их работа основана на переносе основных носителей. При прямом смещении электроны из полупроводника переходят в металл. Их энергия на больше энергии электронов, в металле. Электроны из полупроводника быстро (примерно за 10-12 с) теряют на соударениях свою избыточную энергию и не могут возвратиться в полупроводник. В диодах Шоттки не происходит накопления заряда неосновных носителей (обусловливающего снижение быстродействия p-n-переходов), поэтому они особенно перспективны для применения в качестве сверхбыстродействующих импульсных и высокочастотных диодов. Типичное время восстановления обратного сопротивления диодов Шоттки на основе, например Au—Si, порядка 10 пс и менее.
Контакт металл — полупроводник может быть использован не только в качестве выпрямляющего контакта, но и для создания омического контакта. В этом случае значения работы выхода металла и полупроводника должны быть по возможности близкими для того, чтобы высота барьера была минимальной. Тогда контакт будет иметь большую величину jнас, а следовательно, малое значение сопротивления при прямом и обратном смещении, что и требуется от омического контакта. Контакт с большим значением jнаc можно также использовать в качестве стабилизатора тока, так как при обратном смещении ток слабо зависит от напряжения.